Добавил:

ivanov666 Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.

Вуз:

Башкирский Государственный Аграрный Университет

Предмет:

[НЕСОРТИРОВАННОЕ]

Файл:

книги из ГПНТБ / Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства учеб. пособие

.pdf

Скачиваний:

Добавлен:

25.10.2023

Размер:

12.74 Mб

Скачать

☆

1 / 391 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 > Следующая >>>

А ЛГ. АЛЕКСАНДРОВА

ПРОИЗВОДСТВА

А. Т. АЛЕКСАНДРОВА

ОБОРУДОВАНИЕ

ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО

ПРОИЗВОДСТВА

Д опущ ено М инистерством вы сш его и среднего специального образования СССР в качестве учебного пособия для студентов вузов, о б у чаю щ ихся по специальности « П олупроводнико вое и электровакуум ное м аш иностроение»

«Э Н Е Р Г И Я»

МОСКВА 1974

6Ф0.3

А 46

УДК 621.385.002(075.8)

Александрова А. Т.

А 46 Оборудование электровакуумного производства. Учебное пособие для вузов. М., «Энергия», 1974.

384 с. с ил.

В книге изложены принципы работы и конструктивные особен ности оборудования для производства электровакуумных приборов Рассматриваются теоретические основы используемых в оборудовании принципов обработки и возможности их применения для различных технологических задач. Анализируются принципы и пути механизации

и автоматизации производства массовых типов электровакуумных при боров.

Книга предназначена в качестве учебного пособия для студентов

вузов, обучающихся по специальности «Полупроводниковое и электро вакуумное машиностроение».

30407-339
051 (01)-74	261-74	6ф 0.3

ОГЛАВЛЕНИЕ

П р е д и с л о в и е . ....................................................................................											7
Часть первая. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ОБРАБОТКИ МЕТАЛ
ЛОВ МЕТОДОМ ПЛАСТИЧЕСКОГО ДЕФОРМИРОВА
НИЯ			.............................................................................................								9
Г л а в а		п е р в а я .		Оборудование для				производства проволоки			10
и ленты из тугоплавких металлов								...............................................
1-1.		Ротационно-ковочные					м а ш и н ы ..........................................			.	Ю
1-2. Анализ параметров процесса волочения проволоки											16
1-3.		Оборудование			для	волочения		проволоки . . .			19
1-4.		Анализ параметров процесса						прокатки . . . .			26
1-	5.		Оборудование для прокатки тончайшей ленты из ту								31
		гоплавких		материалов			..............................................................
Г л а в а		в т о р а я .		Оборудование для формообразования						из
делий из проволоки...................................................................										34
2-		1.	Общие сведения.......................................................................						и склад		34
2-2.	Оборудование				для	изготовления спиральных					35
2-		ных подогревателей .............................................................
		3.	Сетконавивальное о б о р у д о в а н и е .....................................								49
Г л а в а		т ре т ь я .		Оборудование для изготовления					деталей		57
			из листового ленточного материала и трубок							.
3-		1.	Общие	сведения............................................................			ав том аты			57
3-2.		Универсально-гибочные								58
3-		3.	Оборудование			для	формообразованияизделий			из
		т р у б о к		............................................................................						63
Часть	вторая. ТЕРМИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ . .									.	69
Г л а в а			ч е т в е р т а я . Термическое					газопламенное	оборудо		70
вание			...............................................................................................................
4-		1.	Система	огневого о с н а щ е н и я ................................						70
4-2.		Газовые г о р е л к и ........................................................								70
4-3.		Смесительная			а п п а р а т у р а ..........................................			огневыхрежимов. . .		80	83
4-		4.	Аппаратура		стабилизации
Г л а в а			пя т а я .	Вакуумные			электрические печи . . .			.	87
5-		1.	Конструкционные материалы вакуумныхэлектриче
		ских п е ч е й			.....................................................................					87

5-2. Конструкция нагревателей вакуумных электропечей . 90 ’5-3. Тепловая изоляция вакуумных электропечей . . . 96 5- 4. Конструкции вакуумных электрических печей. . . 97

Г л а в а

ш е с т а я . Газонаполненные

электрические печи .

108

Технологические

среды

газонаполненныхпечей .

108

6-2. Материалы водородных электропечей.......................

108

6-3.

Устройства, поддерживающие стабильность рабочей

среды ....................................................................................

водородных

п е ч е й

109

Конструкции

112

Г л а в а

с е д ь м а я .

Контрольно-измерительная и регулирую

119

щая

аппаратура

термического оборудования . . .

Средства

измерения тем пературы ..........................

119

Методы

средства

автоматического

регулирования

124

температуры.................................................................................

Часть третья. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА

ИЗДЕЛИЙ ИЗ СТЕКЛА И КЕРАМИКИ.........................

133

Г л а в а

в о с ь м а я .

Оборудование для изготовления изделий

из

стекла....................................................................................................

134

Теоретические основы

формообразования и термиче

134

8-2.

ской обработки

изделий

из

стекла

................................

стекла

из

Оборудование

для

формообразования

138

8-3.

жидкой

с т ек л о м а сс ы .............................................................

оборудовании

для

Методы

нагрева, применяемые

термической и термопластической обработки стекло-

147

8-4.

изделий

......................................................................................

основных эксплуатационных

параметров

Определение

152

8-5.

оборудования для термопластической

обработки стекла

Оборудование для термопластической обработки стекла

155

Оборудование для

резки

механической обработки

стекла...................................................................................

171

Г л а в а

д е в я т а я .

Оборудование

для

изготовления

изде

лий

из керамики...........................................................................

177

1. Прессование

керамических

и з д е л и й .....................

177

9-2.

Формообразование

керамических

вакуумноплотных

182

9-3.

изделий методом горячего литья под давлением .

Кинетика процесса шликерного литья . . . .

183

9-4.

Термообработка керамических

полуфабрикатов .

185

Обработка

керамики....................................................

186

Часть четвертая. ОБОРУДОВАНИЕ ТЕХНОХИМИЧЕСКОГО

ПРОИЗВОДСТВА И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ МЕТО

ДОВ ОБРАБОТКИ

..............................................................................

187

Г л а в а

д е с я т а я .

Технохимическое

оборудование . .

188

10-

1. Оборудование для химических методов очистки

. .

188

10-2. Оборудование для нанесения гальванических покрытий

196

10-3.

Оборудование

для

нанесения

покрытий

пульвериза-

10-4.

ционным

м е т о д о м

........................................................

200

Оборудование для

нанесения покрытий методом

элек-

трофорезного

осаждения.................................................

207

lü-5.

Оборудование

для

нанесения

покрытий

механически

210

10-6.

ми н термомеханическими

м е т о д а м и .................................

Оборудование для нанесения покрытий методом

213

10-

осаждения

и центрифугирования.......................................

7. Оборудование

для

изготовлениягазопоглотителей .

216

Г л а в а

о д и н н а д ц а т а я .

Оборудование для

ультразвуко

221

вой обработки ...........................................................................................

11-1. Сущность и основные параметры

процесса .

. .

221

11-2.

Излучатели

ультразвуковых

колебаний

. . .

223

11-3.

Оборудование

для

интенсификации процессов, проте

229

11-4.

кающих в жидких

с р е д а х .....................................................

обработки

твердых

Ультразвуковое

оборудование

231

11-

м а т е р и а л о в

.........................................................................

для

ультразвуковой

пайки

сварки

5. Оборудование

237

Г л а в а

д в е н а д ц а т а я .

Оборудование

для

электроискро

239

вой

обработки.............................................................................................

12-1.

Сущность и основные параметры

процесса .

. .

239

12-2.

Генераторы

импульсов .

243

12-3.

Устройства

для

автоматического регулирования меж-

12-

электродиого

п р о м еж у тк а .........................................

установки . .

245

247

4. Прецизионные электроискровые

. .

Г л а в а

т р и н а д ц а т а я .

Оборудование

для

обработки

ма

252

териалов лучом лазера и плазменным нагревом . . .

13-

1. Особенности метода обработки материалов лучом ла

252

13-2.

зера ......................................................................................

Технологическое оборудование для обработки мате

13-

риалов лучом

лазера

254

3. Сущность процесса и оборудование для плазменной

обработки..........................................................................

260

Г л а в а

ч е т ы р н а д ц а т а я .

для электронно

лучевой обработки........................................................................

266

14-

1. Теоретические основы и область применения

метода

266

14-2.

электронно-лучевой обработки. . . . . . .

Основные функциональные элементы

оборудования .

268

14-3.

Системы питания

и управления электронно-лучевыми

14-4.

установками.......................................................................

программирование

278

Автоматизация

электронно-луче

14-

вой о б р а б о т к и ..............................................................

281

5. Электронно-лучевое

производстве

электровакуумных

п р и б о р о в ...................................

285

Часть пятая. ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

. . .

289

Г л а в а

п я т н а д ц а т а я .

Оборудование для откачки элек

тровакуумных п р и б о р о в ............................................................

290

15-

1. Критерии

выбора

откачных

средств . . .

. ' .

290

15-2.

Централизованные

форвакуумные

системы

. .

291

15-3.

Технологический

процесс

электровакуумных

297

15-4.

приборов ........................................................................................

оборудование дл откачки электро

Механизированное

вакуумных

приборов.......................................................

303

15-5.

Откачные

посты

. .

откачного

оборудования

307

15-

6. Функциональные

элементы

314

Г л а в а

ш е с т н а д ц а т а я .

Оборудование

для

вакуумного

332

нанесения

тонких пленок

................................................................

16-

1. Анализ

методов

вакуумного

нанесения

тонких пленок

332

16-

2. Напылительное

оборудование

электровакуумном

336

производстве ..........................................................................

Часть шестая. МЕХАНИЗИРОВАННОЕ И АВТОМАТИЗИРО

ВАННОЕ

ОБОРУДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО

ПРОИЗВОДСТВА .

341

Г л а в а

с е м н а д ц а т а я .

Механизация

автоматизация

технологических процессов

производства

электровакуумных

приборов

....................................

342

17-

1. Современные

средства

автоматизации

оборудования

342

17-2. Механизация

автоматизация

технологических про

344

17-

цессов сборки

электровакуумных приборов . .

3. Механизированные

и автоматические

поточные линии

в производстве массовых типов электровакуумных

363

приборов......................................................

. . .

Г л а в а

в о с е м н а д ц а т а я .

Автоматизированные системы

управления технологическими процессами (АСУТП) в про

369

изводстве

электровакуумных

п р и б о р о в

.......................................

18-

1. Общие

сведения .

управляемое ЭВМ .

369

18-2.

Технологическое

оборудование,

370

С п и с о к л и т е р а т у р “

..................................................................

380

Предметный

у к а з а т е л ь .........................................................................

382

ПРЕДИСЛОВИЕ

Электронная промышленность отличается большим разнообразием процессов, материалов, технологических методов и оборудования. И это неудивительно, так как современный электровакуумный прибор средней сложно сти требует для своего изготовления нескольких сотен операций, использующих практически все известные в настоящее время достижения науки, техники и техно логии.

Разнообразное применение электровакуумных прибо ров потребовало создания большого количества их типов, предназначенных как для массового потребления, так и для специальных целей.

В технологическом цикле изготовления электроваку умных приборов наряду с применением традиционных, давно известных и изученных методов обработки, таких как пластическое деформирование, прессование, исполь зование ряда химических, термических, механических и термомеханических методов, широкое применение нахо дят процессы, в основе которых лежат сложные физиче ские явления. Эти явления связаны с поведением мате риалов в условиях низких и высоких давлений, электрон ной бомбардировки, мощного светового излучения, воздействия потока плазмы, электрического разряда, зву ковых и ультразвуковых колебаний и т. д.

В связи с этим в книге содержатся необходимые све дения о конструктивных особенностях оборудования и о теоретических основах процессов, на базе которых оно создано, что способствует цели не только ознакомления будущих специалистов электронного машиностроения с известными современной практике принципами и конст рукторскими решениями, но и расширения у них широ кого технического кругозора для решения сложных за дач дальнейшего технического прогресса.

Книга состоит из шести частей.

В первой части рассматривается широко используе мое в практике электровакуумного приборостроения обо рудование, основанное на использовании метода пласти ческого деформирования металлов в ряде его наиболее характерных видов: ковка, волочение, прокатка, штам повка, гибка.

Вторая часть посвящена описанию методов и средств для осуществления процессов (пайки, спекания, обезгаживания и т. д.), проходящих под воздействием высоких температур в различных технологических средах.

В третьей части приведены теоретические основы процессов и описано оборудование для формообразова ния изделий из стекла и керамики, используемых в боль шинстве случаев в качестве тех или иных вакуумноплотпых элементов приборов.

В четвертой части изложены современные физические представления о сущности большинства процессов тех нохимической и электрофизической технологии и приве дены принципиальные схемы и наиболее интересные эле менты конструкций используемого в отечественной и за рубежной электронной промышленности оборудования.

Пятая часть содержит сведения, касающиеся вопро сов выбора средств создания высоких степеней разреже ния для различных технологических целей и анализа ра циональных вакуумных систем, конструкций оборудова ния и его элементов для конкретных применений в откач ном и напылительном оборудовании.

Шестая часть посвящена вопросам механизации и автоматизации электровакуумного производства, в том числе использованию автоматизированных систем управ ления, действующих от электронных вычислительных ма шин и комплексов в наиболее ответственных технологи ческих процессах.

Книга написана в соответствии с программой курса «Оборудование электронной промышленности», состоя щей из двух частей: часть первая—оборудование элек тровакуумного производства, часть вторая — оборудова ние полупроводникового и микроэлектронного производ ства и охватывает вопросы первой части программы.

Автор

Ч ас т ь п е р в а я

ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ОБРАБОТКИ МЕТАЛЛОВ МЕТОДОМ ПЛАСТИЧЕСКОГО ДЕФОРМИРОВАНИЯ

В технологическом цикле изготовления электровакуумных прибо ров большое место занимают металлозаготовительные операции. Одним из наиболее распространенных методов изготовления метал лических деталей приборов является обработки металлов давлением в том числе:

ковка в горячем и	холодном состоянии, широко используемая
в производстве прутков	из .тугоплавких металлов — вольфрама, мо
либдена, тантала и др.;

волочение, применяемое главным образом для получения тонкой и тончайшей проволоки диаметром до нескольких микрон из воль фрама, молибдена, тантала, никеля и др.;

прокатка, применяемая для изготовления ленты толщиной от 5 до 50 мкм из вольфрама, молибдена, тантала, титана, циркония,

ниобия, нихрома и других металлов;

холодная штамповка (около 80% всех металлозаготовительных операций) — сравнительно дешевый и высокопроизводительный метод получения легких и прочных деталей при условии гарантированной точности и воспроизводимости геометрических форм и размеров из делий;

гибка и вытяжка для формообразования изделий из листового, ленточного, проволочного материалов и трубок.

Особые требования, предъявляемые к качеству металлических изделий в электровакуумном производстве и при получении исход ных материалов и при изготовлении деталей и узлов приборов, опре деляют принципы, положенные в основу разработки технологических процессов и оборудования, которые во многих случаях отличаются от аналогичных процессов в области приборостроения и машино строения, а в ряде случаев являются специфическими, присущими только электронной технике.

В первой части книги рассматриваются элементы теории пере численных процессов и анализируются принципиальные схемы и конструкции оборудования, построенного на их основе.

1 / 391 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 > Следующая >>>

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ